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微纳加工是一种针对纳米级别结构加工与制造的技术，它将传统的制造工艺、材料科学和纳米技术相结合，同时具有高加工速度、高精度、低成本、高加工质量的特性，广泛应用于半导体、光电器件、生物医学和纳米传感器、制造微系统、光学器件、芯片等领域。